国家/地区 中国(36) 美国(2)
IPC部 C(23) G(9) H(7)
IPC大类 C01(13) G01(9) C23(8)
H01(7) C30(5) C03(2)
C09(2)
IPC小类 C01B(13) C23C(8) G01N(8)
H01L(7) C30B(5) C09K(2)
IPC C01B031/04(7) C23C016/26(4) C30B029/02(4)
C01B032/194(3) C23C016/02(3) H01L021/28(3)
C01B032/184(2) C01B032/186(2) C09K005/14(2)
C23C016/56(2) C30B025/18(2) G01N001/32(2)
H01L021/283(2)
发明人 ZHANG Y(36)
公开年 2017(9) 2014(7) 2015(7) 2013(6) 2020(2) 2021(2)
申请年 2014(8)  2016(7)  2013(6)  2015(6)  2012(3)  2020(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(36)