国家/地区 中国(9) 世界知识产权组织(6) 美国(3)
IPC部 C(6) B(3) H(3)
IPC大类 C01(5) C23(5) B82(3)
H01(3) C30(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) B82Y(3)
H01L(3) C30B(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(4) B82Y040/00(3)
C23C016/02(3) B82Y030/00(2)
发明人 DING G(7) XIE X(7) JIANG M(5)
TANG S(3) CHEN J(2) DI Z(2)
GONG Q(2) SUN L(2) WANG S(2)
公开年 2012(9)
申请年 2012(7)  2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)