国家/地区 中国(7)
IPC部 H(4) B(3) C(2)
IPC大类 H01(4) B01(3)
IPC小类 B01J(3) H01L(3)
IPC B01J027/22(2) H01L021/205(2)
发明人 FAN X(4) LIU Q(4) DONG J(3)
GUO X(3) LI C(3) LIU B(3)
DENG J(2) GUO W(2) XU C(2)
XU K(2)
公开年 2015(7)
申请年 2014(5)  2015(2) 
专利权人 UNIV BEIJING TECHNOLOGY(7)