国家/地区 中国(15)
IPC部 B(5) C(5) H(5)
G(3)
IPC大类 H01(4) C01(3) B01(2)
B22(2) B82(2) G01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) B01J(2)
B22F(2) B82Y(2)
IPC B22F001/054(2) B22F009/24(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/184(2) C01B032/194(2)
H01L051/42(2)
发明人 LIU Z(3) LI R(2) LI Y(2)
SHI B(2) TIAN J(2) XU S(2)
ZHANG X(2) ZHAO Y(2)
公开年 2022(10) 2023(5)
申请年 2022(15)
专利权人 UNIV NANKAI(15)