国家/地区 美国(9)
IPC部 H(7) B(5) C(4)
IPC大类 H01(7) B82(5) C01(2)
C23(2)
IPC小类 B82Y(5) H01L(5) C01B(2)
C23C(2) H01S(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
C01B031/04(2) C23C016/00(2) C23C016/40(2)
H01L021/02(2) H01L029/06(2) H01S003/06(2)
H01S003/083(2) H01S003/09(2) H01S003/091(2)
H01S003/10(2) H01S003/11(2) H01S003/113(2)
发明人 KUB F J(5) ANDERSON T(3) CURRIE M(3)
GASKILL D K(3) EDDY C R(2) FEYGELSON B N(2)
GARCES N(2) JERNIGAN G G(2) WHEELER V D(2)
公开年 2013(9)
申请年 2012(5)  2013(3) 
专利权人 US SEC OF NAVY(9)