国家/地区 美国(7)
IPC部 H(6) C(5) B(3)
IPC大类 H01(6) C01(5) B82(3)
C23(2)
IPC小类 C01B(5) B82Y(3) H01L(3)
C23C(2) H01G(2) H01M(2)
IPC C01B031/04(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
H01L021/02(3) H01L029/16(3) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2) H01M004/587(2)
发明人 ZHANG Y(7) DENG P(2) GUO H(2)
LEI T(2) ZHANG K(2)
公开年 2014(3) 2012(2)
申请年 2012(4)  2014(2) 
专利权人 ZHANG Y(7)