国家/地区 中国(20) 美国(2)
IPC部 C(11) H(7) B(6)
G(5)
IPC大类 H01(7) C01(5) G01(5)
B01(3) C23(3) B82(2)
IPC小类 C01B(5) B01J(3) C23C(3)
G01N(3) H01L(3) B82Y(2)
H01G(2)
IPC C01B031/04(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) H01G011/86(2) H01L029/16(2)
发明人 CHEN Z(23)
公开年 2013(23)
申请年 2013(16)  2012(6) 
专利权人 SHANGHAI INS.(5) UNIV CHANGZH.(3) CHANGZHOU JI.(2) INT BUSINESS.(2)
UNIV SHANGHA.(2)