| 国家/地区 |
韩国(7)
|
| IPC部 |
C(5)
H(5)
B(4)
|
| IPC大类 |
C01(3)
C23(3)
H01(3)
B32(2) B82(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
B32B(2)
B82Y(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
C01B031/04(3)
B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
CHO S(7)
|
| 公开年 | 2021(3) 2012(2) |
| 申请年 | 2020(3) 2011(2) |
| 专利权人 | HANWHA TECHW.(3) LG ELECTRONI.(2) SAMSUNG TECH.(2) |
OH B, SHIN Y, CHO S, JUNG G, OH B S, SEOP S Y, JUNG G Y
CHO S, BAE B, JUNG M, CHO S G, JIN B B
MIN E H, CHO S H, CHOI B K, HONG M E, HO C S, KEUN C B, CHO S
PARK C, CHO S, PARK C H, CHO S M
WON D, CHO S, YOON J, NA D, WON D K, CHO S M, YOON J H, NA D H, YUAN D
