国家/地区 韩国(7)
IPC部 C(5) H(5) B(4)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(3)
B32(2) B82(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) B32B(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(3) B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 CHO S(7)
公开年 2021(3) 2012(2)
申请年 2020(3)  2011(2) 
专利权人 HANWHA TECHW.(3) LG ELECTRONI.(2) SAMSUNG TECH.(2)