国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) B(2)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/336(3)
发明人 GU K(6)
公开年 2014(5)
申请年 2013(4) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(6)