国家/地区 日本(11) 美国(2)
IPC部 H(7) G(3) B(2)
C(2)
IPC大类 H01(7) G01(3) B82(2)
C01(2)
IPC小类 H01L(7) G01N(3) B82Y(2)
C01B(2)
IPC H01L029/786(5) H01L051/05(5) H01L029/06(4)
H01L051/30(4) H01L021/28(3) H01L021/331(3)
H01L029/737(3) H01L051/40(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) G01N027/00(2) G01N027/12(2)
H01L029/66(2)
发明人 HARADA N(11)
公开年 2017(3) 2009(2)
申请年 2008(3)  2016(3) 
专利权人 FUJITSU LTD(9) DOKURITSU GY.(2)