| 国家/地区 | 中国(6) 日本(2) |
| IPC部 | C(5) H(3) |
| IPC大类 |
C01(4)
H01(3)
C23(2)
C30(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
H01L(3)
C23C(2)
C30B(2) |
| IPC |
C01B031/04(2)
C01B032/186(2)
C23C014/06(2)
C23C016/26(2) |
| 发明人 |
JIANG M(7)
|
| 公开年 | 2015(5) 2016(2) |
| 申请年 |
2015(7)
|
| 专利权人 | SHANGHAI INS.(6) |
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
JIANG M, LI L, XIE X, XIE H, WANG H
JIANG M, PENG S, KOU Z, ZHAO X, LI Y
DENG L, HE L, JIANG M, LI L, XIE X, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
DENG L, HE L, JIANG M, LI L, XIE X, WU T, XIE H, WANG H, CHEN L
DING G, JIANG M, SUN J, XIE X, TIAN S, DING C
HE L, JIANG M, LI L, XIE X, TANG S, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
