国家/地区 中国(9) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 C(7) H(3) B(2)
IPC大类 C01(6) C23(5) H01(3)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C01B(6) C23C(5) B82Y(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(4) C23C016/02(3)
B82Y040/00(2)
发明人 JIANG M(9)
公开年 2012(9)
申请年 2012(5)  2011(3) 
专利权人 CHINESE ACAD.(6) SHANGHAI INS.(5) CHINESE ACAD.(2)