国家/地区 韩国(9)
IPC部 C(9) B(5) H(2)
IPC大类 C01(9) B01(4) C23(3)
H01(2)
IPC小类 C01B(9) B01J(4) C23C(3)
H01L(2)
IPC C01B031/02(9) B01J019/08(4) C23C016/26(2)
发明人 JUNG M(9)
公开年 2013(9)
申请年 2012(8) 
专利权人 LG ELECTRONI.(9)