国家/地区 韩国(6) 美国(5)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B032/186(3) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 KIM C(6)
公开年 2020(5)
申请年 2019(6)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5)

SHIN H, SHIN K, KIM C, NAM S, BYUN K, SONG H, LEE E, LEE C, JUNG A, CHO Y, SHIN H J, SHIN K W, NAM S G, BYUN K E, SONG H J, LEE C S, JUNG A R, CHO Y C

SHIN K, KIM C, YAMAMOTO K, LEE C, SONG H, LEE E, BYUN K, SHIN H, AN S, SHEN J, JIN C, SHAN B, LI C, SONG X, LI Y, BIAN Q, SHEN X, AN X, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, BYUN K E, SHIN H J, AHN S J

NAM S, SHIN H, SHIN K, KIM C, BYUN K, SONG H, LEE E, LEE C, JUNG A, CHO Y, NAM S G, SHIN H J, SHIN K W, BYUN K E, SONG H J, LEE C S, JUNG A R, CHO Y C