国家/地区 韩国(10) 美国(3)
IPC部 H(6) C(4)
IPC大类 H01(4) C04(2) C23(2)
H05(2)
IPC小类 H01L(4) C04B(2) C23C(2)
H05K(2)
IPC C04B035/577(2) C04B035/622(2) H01L027/108(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H05K007/20(2)
发明人 KIM H J(10)
公开年 2015(6) 2014(3)
申请年 2013(10)
专利权人 KOREA INST I.(3) SAMSUNG ELEC.(3) KIM H(2) KOREA INST C.(2)
SEO D(2)