| 国家/地区 | 韩国(7) 美国(5) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) |
| IPC部 |
H(6)
G(3)
B(2)
|
| IPC大类 |
H01(6)
B82(2)
G03(2)
|
| IPC小类 | H01L(6) G03F(2) |
| IPC |
H01L021/027(3)
G03F007/09(2)
G03F007/11(2)
H01L021/02(2) |
| 发明人 |
KIM S W(7)
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| 公开年 | 2016(4) 2017(2) |
| 申请年 |
2015(7)
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| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(5) |
SHIN K, SEOL M, SHIN H, KIM S, PARK S, SHIN K W, SEOL M S, SHIN H J, KIM S W, PARK S J
SHIN H, KIM S, SEOL M, PARK S, CHO Y, SHIN H J, KIM S W, SEOL M S, PARK S J, CHO Y C, XUE M, ZHAO L
SEOL M, KIM S, SHIN H, PARK S, CHO Y, SEOL M S, KIM S W, SHIN H J, PARK S J, CHO Y C
YEO J S, LEE E H, CHEONG D I, CHOI H J, PARK Y H, KIM S W, LEE J J
KIM T, KIM S, PARK S, LEE S, KIM T H, KIM S W, PARK S J, LEE S M
SHIN H, KIM S, LEE K, PARK H, CHO E, CHO E B, KIM S W, LEE K H, PARK H J, SHIN H J
