国家/地区 韩国(7) 美国(5) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 H(6) G(3) B(2)
IPC大类 H01(6) B82(2) G03(2)
IPC小类 H01L(6) G03F(2)
IPC H01L021/027(3) G03F007/09(2) G03F007/11(2)
H01L021/02(2)
发明人 KIM S W(7)
公开年 2016(4) 2017(2)
申请年 2015(7)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5)

SHIN H, KIM S, SEOL M, PARK S, CHO Y, SHIN H J, KIM S W, SEOL M S, PARK S J, CHO Y C, XUE M, ZHAO L