国家/地区 韩国(8) 美国(6)
IPC部 H(7) B(3) C(2)
IPC大类 H01(6) B32(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) B32B(2) C01B(2)
H01J(2)
IPC H01L029/66(4) H01L021/336(3) H01L029/16(3)
H01L029/78(3) C01B031/04(2) H01J001/30(2)
H01J001/304(2) H01J001/308(2) H01J009/02(2)
H01L021/02(2) H01L029/10(2) H01L029/423(2)
H01L029/778(2)
发明人 KIM Y(9)
公开年 2014(4) 2015(4)
申请年 2014(9)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) KUMOH NAT IN.(2) LG ELECTRONI.(2)