国家/地区 日本(6)
IPC部 H(6) B(5) C(3)
G(2)
IPC大类 H01(6) B82(5) C01(3)
G01(2)
IPC小类 H01L(6) B82Y(5) C01B(3)
G01J(2)
IPC B82Y040/00(3) H01L021/3205(3) H01L021/768(3)
H01L023/532(3) H01L029/16(3) B82Y020/00(2)
B82Y030/00(2) C01B031/02(2) G01J001/02(2)
H01L021/02(2) H01L021/04(2) H01L021/20(2)
H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L023/522(2)
发明人 KONDO D(6)
公开年
申请年 2009(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(6)