国家/地区 韩国(9) 美国(7) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 H(9) C(7) B(6)
IPC大类 H01(9) C01(7) B01(3)
C23(3) B32(2) B82(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(7) B01J(3)
C23C(3) B32B(2) B82Y(2)
H01B(2)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(4) C23C016/26(3)
H01L029/16(3) H01L029/786(3) C23C016/44(2)
H01B001/04(2) H01L021/336(2) H01L029/66(2)
H01L029/78(2) H01L051/00(2)
发明人 LEE J(11)
公开年 2013(8) 2012(2)
申请年 2012(11)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)
UNIV SUNGKYU.(2)