国家/地区 中国(15)
IPC部 H(9) C(4) E(2)
IPC大类 H01(8) C01(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(2)
IPC H01L031/18(5) C01B031/04(2) H01L031/074(2)
H01L031/09(2)
发明人 LIN S(15)
公开年 2015(11) 2016(4)
申请年 2015(15)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(10)