国家/地区 韩国(7) 美国(5)
IPC部 C(5) H(5) B(2)
IPC大类 H01(5) C23(4) C01(3)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) H01G(2)
H01L(2)
IPC
发明人 MUN J H(7)
公开年 2014(2) 2021(2)
申请年 2013(2)  2020(2) 
专利权人 KOREA ADVANC.(3) KOREA ADV IN.(2) KOREA BASIC .(2) UNIV CHONNAM.(2)