国家/地区 日本(9)
IPC部 C(6) H(6) B(4)
G(3)
IPC大类 C01(5) H01(5) B32(3)
C23(3) H05(3) G01(2)
IPC小类 C01B(5) B32B(3) C23C(3)
H01L(3) H05B(3) H01B(2)
IPC B32B009/00(3) C01B032/194(3) C01B031/02(2)
C01B032/184(2) C23C026/00(2) H01B005/14(2)
发明人 OKIKAWA Y(9)
公开年 2014(3) 2021(3)
申请年 2013(2)  2019(2) 
专利权人 NAT INST ADV.(7) DOKURITSU GY.(4)