国家/地区 韩国(15) 美国(11) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 H(9) C(7) B(3)
IPC大类 H01(9) C01(7) B82(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(6) H01J(3)
B82B(2) C23C(2)
IPC H01L029/16(5) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
H01J001/30(3) H01J001/304(3) H01J009/02(3)
H01L029/66(3) H01L029/78(3) B82B003/00(2)
H01J001/308(2) H01L021/768(2) H01L023/532(2)
H01L029/267(2) H01L029/778(2)
发明人 PARK S(16)
公开年 2015(16)
申请年 2014(8)  2015(5)  2013(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(9) UNIV SEOUL N.(4) KUMOH NAT IN.(3) INHA IND PAR.(2)
KUMOH NAT IN.(2) LEE J(2) LG ELECTRONI.(2) PARK S(2)
SHIN H(2)

LEE C, SHIN H, PARK S, IM D, PARK H, SHIN K, LEE J, LIM H, LEE C S, SHIN H J, PARK S J, IM D H, SHIN K W, LEE J M, LIM H J, PIAO X