国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
IPC大类 H01(4) B01(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) B01J(2) C01B(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/16(2)
发明人 PENG S(6)
公开年 2013(6)
申请年 2013(5) 
专利权人 INST MICROEL.(4)