国家/地区 中国(11) 美国(3)
IPC部 C(7) B(6) H(5)
G(3)
IPC大类 H01(5) B01(3) C01(3)
C23(3) G01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) C23C(3)
G01N(3) B01L(2) B82Y(2)
IPC B01L003/00(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C016/26(2) C23C016/44(2) G01N021/65(2)
H01L023/00(2) H01L023/373(2) H01L025/00(2)
H01L025/065(2) H01L025/18(2) H01L031/18(2)
发明人 PU H(14)
公开年 2022(3) 2015(2) 2017(2) 2018(2)
申请年 2017(3)  2022(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 UNIV XIAN PO.(3) JIANGSU XING.(2) TAIWAN SEMIC.(2)