| 国家/地区 |
中国(11)
|
| IPC部 |
C(6)
B(5)
G(2)
H(2) |
| IPC大类 |
B01(3)
C23(3)
C01(2)
G01(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(3)
B01L(2)
C01B(2)
G01N(2) H01L(2) |
| IPC |
B01L003/00(2)
C23C016/26(2)
C23C016/44(2)
G01N021/65(2) H01L031/18(2) |
| 发明人 |
PU H(11)
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| 公开年 | 2015(2) 2017(2) 2018(2) |
| 申请年 | 2017(3) 2015(2) 2022(2) |
| 专利权人 | UNIV XIAN PO.(3) JIANGSU XING.(2) |
LUO J, XIE S, PU H, PENG Y, ZHANG D, XU L, CHEN H, ZHANG Q, LI L, YI S
LI L, ZANG Y, CHEN H, HU J, LIN S, ZHANG G, PU H, FENG X, SONG L, TU Z, LI Z, XU Y, WANG R
WANG G, WANG H, ZHANG Y, MA Y, WU Z, PU H, LI Y, GAO D, LIU K, ZHANG K, SHEN J, JI C, WEI X, WANG B
LI L, ZANG Y, HU J, LIN S, HE X, CHU Q, FENG S, PU H, FENG X, SONG L, LEI Q, TU Z
LI L, ZANG Y, SONG L, PU H, FENG X, TU Z, HAN Y, CHU Q, HU J, LIN S, HE X, FENG S, LEI Q
