国家/地区 中国(11)
IPC部 C(6) B(5) G(2)
H(2)
IPC大类 B01(3) C23(3) C01(2)
G01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(3) B01L(2) C01B(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC B01L003/00(2) C23C016/26(2) C23C016/44(2)
G01N021/65(2) H01L031/18(2)
发明人 PU H(11)
公开年 2015(2) 2017(2) 2018(2)
申请年 2017(3)  2015(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV XIAN PO.(3) JIANGSU XING.(2)