国家/地区 韩国(8) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(5) B(2)
IPC大类 H01(5) C01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) C01G(2)
C23C(2)
IPC C01B031/04(3) H01L051/50(2) H01L051/56(2)
发明人 SON D I(8)
公开年 2016(4)
申请年 2015(3)  2016(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(8)