国家/地区 中国(8)
IPC部 C(7) H(2)
IPC大类 C01(6) H01(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(2)
IPC C01B032/186(4) C01B031/04(3)
发明人 WANG G(8)
公开年 2015(4) 2017(3)
申请年 2015(8)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)