国家/地区 中国(15) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(6) B(5)
G(4)
IPC大类 H01(6) B82(4) C01(4)
G01(3) B01(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) G01N(3)
H01L(3) H01M(3) B01J(2)
C23C(2)
IPC C01B031/04(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C23C016/26(2) G01N027/30(2) H01L043/06(2)
H01L043/14(2)
发明人 WANG S(15)
公开年 2013(9) 2012(5)
申请年 2012(15)
专利权人 UNIV PEKING(3) CHINESE ACAD.(2) SHANGHAI INS.(2) UNIV HEBEI T.(2)
UNIV HUAZHON.(2) UNIV TONGJI(2)