国家/地区 日本(8)
IPC部 C(7) B(5) H(5)
G(3)
IPC大类 H01(5) C01(4) B82(3)
B01(2) C09(2) G01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) B82Y(3)
B82B(2) G01N(2)
IPC B82Y040/00(3) H01L021/205(3) H01L029/16(3)
C01B031/02(2) H01L029/06(2) H01L029/66(2)
H01L051/30(2)
发明人 WANG X(8)
公开年 2021(3) 2015(2)
申请年 2020(2) 
专利权人

QIAO J, WANG S, ZHANG X, QI G, SONG Z, CAI C, WANG X, LAI J, LI B, JIANG H, RU Y, ZHANG J, GAO J, ZHANG H, HAN P, JIANG C, GUO Z, GUICUN Q, ZHIHAI S, BINGHAI L, JIANMING G, ZHAOYAN G, SOONGHEO W, LIU Y, JIANG X

KIM H, PARK C H, OKAYASU T, WANG X, PAWLOWSKI G, HAMA Y, KIM H W, WANG X W, XIAOWEI W, GEORG P, YUSUKE H