国家/地区 中国(62) 世界知识产权组织(9) 美国(5) 日本(3)
IPC部 C(41) H(21) B(12)
G(6) A(5)
IPC大类 C01(33) H01(21) C23(12)
B82(10) C30(8) C09(7)
G01(6) A61(4) B01(2)
IPC小类 C01B(33) H01L(19) C23C(12)
B82Y(10) C30B(8) C09K(7)
G01N(5) A61K(3) A61L(2)
IPC C01B031/04(22) B82Y040/00(10) C23C016/26(8)
C01B032/186(7) H01L021/336(7) H01L021/28(6)
C09K011/65(5) C30B029/02(5) C01B032/19(4)
C23C016/02(4) B82Y030/00(3) C01B031/02(3)
C01B032/182(3) C23C014/06(3) H01L021/04(3)
发明人 XIE X(63)
公开年 2014(16) 2013(9) 2012(7) 2015(7) 2016(7) 2017(4) 2020(4) 2021(4) 2022(3)
申请年 2013(14)  2012(10)  2014(10)  2015(8)  2019(6)  2016(5)  2022(3)  2011(2)  2020(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(63)