国家/地区 中国(10) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C01(5) C23(3) H01(3)
IPC小类 C01B(5) C23C(3) H01L(3)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(3) H01L021/28(2)
发明人 XIE X(10)
公开年 2012(5) 2013(5)
申请年 2012(10)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)