| 国家/地区 | 中国(10) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 | C(6) H(3) |
| IPC大类 |
C01(5)
C23(3)
H01(3)
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| IPC小类 |
C01B(5)
C23C(3)
H01L(3)
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| IPC |
C01B031/04(5)
C23C016/26(3)
H01L021/28(2)
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| 发明人 |
XIE X(10)
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| 公开年 | 2012(5) 2013(5) |
| 申请年 |
2012(10)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)
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DING G, JIANG M, LI X, SUN J, WU T, XIE X
KANG X, LIU X, SUN Q, WANG H, XIE H, XIE X
CHEN Z, LIU X, WANG H, XIE H, XIE X, YU G, ZHANG Y
WANG H, XIE X, YANG X, ZHANG Y
DING G, DU F, JIANG M, XIE X
DI Z, DING G, GONG Q, LIU Q, WANG H, WANG S, XIE X
DING G, JIN Q, TANG F, XIE X, ZHANG F, ZHANG H, ZHAO J
DI Z, DING G, GONG Q, JIANG M, SUN L, WANG S, XIE X, ZHU Y
