国家/地区 中国(6)
IPC部 H(5)
IPC大类 H01(5)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/205(2) H01L033/40(2)
发明人 XU K(6)
公开年 2013(2) 2015(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 UNIV BEIJING TECHNOLOGY(6)