国家/地区 中国(21) 美国(4)
IPC部 H(10) C(9) B(5)
G(5)
IPC大类 H01(10) C01(5) G01(5)
B82(4) B01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(8) C01B(5) B82Y(4)
G01N(4) B01J(2) C23C(2)
IPC C01B031/04(5) B82Y040/00(3) G01N027/30(3)
H01L029/06(3) H01L029/16(3) H01L029/78(3)
H01L029/786(3) B82Y030/00(2) H01L029/423(2)
H01L029/66(2) H01L031/0224(2) H01L031/18(2)
发明人 YANG H(25)
公开年 2013(15) 2014(8) 2015(2)
申请年 2013(25)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SHANGHA.(3) UNIV SHANXI .(3) UNIV NANJING.(2)