国家/地区 中国(9)
IPC部 H(6) B(2) C(2)
IPC大类 H01(6)
IPC小类 H01L(5)
IPC H01L021/28(2) H01L033/42(2)
发明人 YANG L(9)
公开年 2014(9)
申请年 2014(8) 
专利权人 UNIV SHANGHA.(4)