国家/地区 中国(13)
IPC部 C(8) H(5) B(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) B82(2)
C09(2) C23(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(3) B82Y(2)
C23C(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
H01L023/373(2)
发明人 YIN L(13)
公开年 2017(13)
申请年 2017(8)  2016(5) 
专利权人 UNIV SOUTHEA.(4) UNIV SHANGHA.(3) JIATE SEMICO.(2)