国家/地区 中国(8)
IPC部 H(5) C(3) G(2)
IPC大类 H01(5) C01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC C01B031/04(3) H01L031/0224(2) H01L031/18(2)
发明人 YU S(8)
公开年 2013(8)
申请年 2012(4)  2013(4) 
专利权人