国家/地区 中国(8)
IPC部 C(4) H(4) G(2)
IPC大类 H01(4) C23(3) C01(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(4) C23C(3) C01B(2)
G01D(2)
IPC C23C016/26(3) H01L031/028(3) G01D005/26(2)
H01L031/0216(2) H01L031/09(2) H01L031/18(2)
发明人 ZHANG D(8)
公开年 2015(4) 2017(2) 2018(2)
申请年 2015(4)  2017(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)