国家/地区 中国(27)
IPC部 C(13) B(8) H(7)
G(3)
IPC大类 C01(10) B01(7) H01(7)
C02(3) G01(3)
IPC小类 C01B(10) B01J(7) H01L(4)
C02F(3) G01N(3) H01B(2)
IPC C01B031/04(9) B01J023/20(2) C02F001/32(2)
G01N027/04(2) H01L021/336(2)
发明人 ZHANG D(27)
公开年 2013(27)
申请年 2013(16)  2012(11) 
专利权人 UNIV TONGJI(6) INST MICROEL.(5) UNIV LIAOCHE.(3) UNIV SHANGHA.(3)
UNIV SHANGHA.(2)