国家/地区 中国(6) 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(5) B(3) H(3)
G(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) B32(2)
B82(2) C23(2)
IPC小类 C01B(3) H01J(3) B32B(2)
B82Y(2) C23C(2)
IPC C01B031/02(3) H01J037/20(3) C23C016/26(2)
H01J037/26(2)
发明人 ZHANG L(7)
公开年 2011(5)
申请年 2010(7)
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)