国家/地区 中国(8)
IPC部 H(7) C(3)
IPC大类 H01(7) C23(2)
IPC小类 H01L(7) C23C(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 ZHANG W(8)
公开年 2011(8)
申请年 2011(5)  2010(3) 
专利权人 UNIV FUDAN(6) UNIV CHINA E.(2)