| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 | H(7) C(3) |
| IPC大类 | H01(7) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(7) C23C(2) |
| IPC | H01L021/336(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
ZHANG W(8)
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| 公开年 |
2011(8)
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| 申请年 | 2011(5) 2010(3) |
| 专利权人 | UNIV FUDAN(6) UNIV CHINA E.(2) |
CHEN Y, LI P, LI Y, WANG Z, ZHANG W
SUN Q, WANG P, WU D, ZHANG W, ZHOU P
ZHOU P, ZHANG W, WU D, SUN Q
ZHOU P, ZHANG W, WU D, SUN Q
WANG P, ZHANG W, LIN X, SUN Q
ZHANG W, CHENG K, LI Y, CHEN Y, WANG Z, LI P
WANG P, ZHANG W, JIANG T, SUN Q
WANG P, ZHANG W, JIANG A, JIANG T, SUN Q
