国家/地区 中国(7)
IPC部 H(6) C(2)
IPC大类 H01(6)
IPC小类 H01L(6)
IPC H01L021/285(3) H01L021/02(2)
发明人 ZHOU P(7)
公开年 2014(7)
申请年 2014(7)
专利权人 UNIV FUDAN(6)