国家/地区 中国(16)
IPC部 H(7) C(6) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(7) G01(4) B82(2)
C01(2) C02(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2) C01B(2)
C02F(2) G01L(2) H01B(2)
IPC H01L021/336(3) H01L029/78(3) B82Y030/00(2)
C01B031/04(2) G01L021/00(2) H01L021/28(2)
发明人 ZHU H(16)
公开年 2015(16)
申请年 2015(12)  2014(3) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(6) INST MICROEL.(2) ZHU H(2)