国家/地区 中国(8)
IPC部 H(6)
IPC大类 H01(6)
IPC小类 H01L(6)
IPC H01L029/78(5) H01L029/423(3) H01L021/336(2)
H01L029/16(2)
发明人 ZHUANG Y(8)
公开年 2013(8)
申请年 2012(5)  2013(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(8)