国家/地区 日本(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B01(8) H01(8) C01(7)
B82(4) C23(3) B05(2)
IPC小类 B01J(8) C01B(7) B82Y(4)
H01L(4) C23C(3) H01B(3)
B05D(2) B82B(2) H01J(2)
IPC B01J019/08(8)
发明人
公开年 2013(3) 2015(2)
申请年 2012(2)  2014(2) 
专利权人