国家/地区 中国(9) 美国(8) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(3) 台湾(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 B82(14)
IPC小类 B82Y(14) C23C(12) C01B(10)
H01L(4) B22F(2) C23F(2)
C30B(2)
IPC B82Y040/00(14)
发明人 FAN S(2) ZHANG L(2)
公开年 2018(8) 2017(5)
申请年 2017(14)
专利权人

ACEITUNO BUENO R, MARTINEZ RUIZ J I, LUCCAS R F, LOPEZ FAGUNDEZ M F, MOMPEAN GARCIA F, GARCIA HERNANDEZ M D M, MARTIN GAGO J A, BUENO R, RUIZ J I, FAGUNDEZ M F, GARCIA F, HERNANDEZ M D M, GAGO J A