国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(5) H01L(3)
B82Y(2) C30B(2) G03F(2)
IPC C23C014/16(8)
发明人 CHEN C(2) TU C(2)
公开年 2021(3) 2018(2)
申请年 2016(2)  2020(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(2)