国家/地区 中国(6) 澳大利亚(2) 美国(2)
IPC部 C(8) B(3) G(3)
H(3)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8) C01B(3) C30B(3)
G01N(2) H01L(2)
IPC C23C014/30(8)
发明人 ZHANG J(3) HU J(2) HU Y(2)
LI P(2) PAN M(2) PENG J(2)
QIU W(2) WANG L(2)
公开年 2021(5) 2020(3)
申请年 2020(8)
专利权人 UNIV NAT DEF.(2)