国家/地区 中国(41) 美国(30) 韩国(18) 世界知识产权组织(14) 欧洲专利局(EPO)(7) 日本(7) 台湾(6)
IPC部 C(68)
IPC大类 C23(68) C01(28) H01(26)
B82(12) C25(9) B01(6)
B05(6) B32(6) C30(5)
C09(4) A61(3) C03(3)
C22(3) H05(3) B22(2)
IPC小类 C23C(68)
IPC C23C014/34(68)
发明人 CHEN Z(4) ZHANG C(4) ZHANG X(4)
WU H(3) YOON S G(3) CHEN C(2)
CHEN K(2) HU C(2) HU C L(2)
HUANG H(2) HUANG J(2) HUANG K(2)
JALILI R A(2) KIM H(2) KOHIKI M(2)
公开年 2021(11) 2016(10) 2013(7) 2017(7) 2022(6) 2014(5) 2020(5) 2023(5) 2018(4) 2011(3) 2012(2) 2015(2)
申请年 2016(12)  2021(10)  2013(7)  2020(6)  2022(6)  2015(5)  2011(4)  2018(4)  2010(3)  2014(3)  2017(3)  2019(2)  2023(2) 
专利权人 UNIV IND AC.(3) UNIV NANJING.(3) H HT CO LTD(2) NIPPON MININ.(2)
SAMSUNG ELEC.(2) UNIV CALIFOR.(2) UNIV TEXAS S.(2) UNIV WOLLONG.(2)
WUXI LIHE PH.(2) WUXI LIHE PH.(2)