国家/地区 美国(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14) H01(9) C01(5)
B82(4) B01(2)
IPC小类 C23C(14) C01B(5) H01L(5)
B82Y(4) B01J(2) H01B(2)
H01M(2)
IPC C23C014/35(14)
发明人
公开年 2021(7) 2022(2)
申请年 2021(5)  2020(3)  2013(2)  2016(2) 
专利权人